SiC溶液成長における成長中の溶液流れ切り替えによる結晶全面のステップフローの安定化

摘要

SiC溶液成長は，オフ角を設けた種結晶を用いてステップフロー 成長を行うことで欠陥変換が生じ，高品質の結晶が得られる[1].ステップフロー成長の安定化には溶液流れの制御が重要で あり，ステップフローと溶液流れの方向が同一であるとマクロステツプが発達し表面荒れを生じるのに対し，対向する場合は安定したステップフローとなることが報告されている[2].したがつ て，オフ角を設けた種結晶を用いて軸対称な流れの下で成長を行うとステップフローと溶液流れ の方向が同一である箇所が生じ，結晶全面でステップフロ一成長を安定化させることは困難であ る.そこで本研究では二種類の異なる溶液流れとなる条件を交互に切り替えて結晶成長を行うこ とで，結晶全面で安定したステップフロー成長を実現させることを目的とした.