SEM/TEMによるナノ粒子粒径分布計測高度化のための試料調製法

摘要

粒径分布は材料の品質を示す重要な評価指標の一つであるが、特にナノ材料の場合には「ナノ材料の定義 」に基づく規制対応にも用いられるため、ナノスケールでの粒径分布計測法の確立が求められている。走査/透過電子顕微鏡法 (SEM/TEM)は個々のナノ粒子を可視化して粒径を評価できることから、分布計測を実現するための有効な分析手法の一つとして期待が持たれている。顕微鏡像解析に基づくSEM/TEMによる粒径分布計測では、信頼性の高い計測を実現するために、解析に適した画像を得るための試料調製が肝要である。すなわち、粒子が凝集や積層せず、適度な間隔で基板上に配置されていることが望ましい。しかし、一般にこのような試料調製は簡単ではないことから、我々は液中分散させたナノ材料に対して、上の条件を満たすような試料調製法の開発を進めている。