公开/公告号CN105092324B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201410191352.X
申请日2014-05-07
分类号G01N1/28(20060101);G01N1/32(20060101);G01N23/22(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11336 北京市磐华律师事务所;
代理人董巍;高伟
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 10:08:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-20
授权
授权
2015-12-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/28 申请日:20140507
实质审查的生效
2015-11-25
公开
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