液中分散ナノ材料用のTEM/SEM試料自動作製装置の開発

摘要

電子顕微鏡でナノ材料を観察する際、従来はナノ材料分散液を電顕観察用基板にマイクロピペット等で滴下し、自然乾燥させていた。この手法の欠点は、コーヒーリング現象と呼ばれるナノ材料の凝集が発生し易く観察を阻害する点である。解決手法として凍結乾燥法の有効性を検討し、その実証を進めた結果を報告する。