機能性材料の観察向けに平らな試料面を作製SEM用の新型イオンミリンク装置発売へ

摘要

日立ハイテクノロジーズは、走査型電子顕微鏡（SEM）で観察するための断面試料作鰍こ主に使う新型イオンミリング（ion milling）装置「E-3500」（次ページFig）を開発し、10月から発売する。この装置は様々な試料の表面を平らに加工できる。 半導体デバイスや機能惟材料の研究·開発から品質管理まで幅広いニーズに対応した。標準価格は940万円で年間60台の販売を見込んでいる。