用于在线SEM观察的SEM样品夹具及SEM样品观察方法

摘要

本发明提供了一种用于在线SEM观察的SEM样品夹具及SEM样品观察方法，通过提供一种圆盘形金属支架，所述圆盘形金属支架具有一个或者多个沟槽，SEM样品置于所述沟槽中，由此，将SEM样品包装成了完整晶圆的形状，从而便可利用通常只能观察完整晶圆的在线SEM进行观察，克服了现有技术中在线SEM不能进行SEM样品/截面观察，或者需要配备FIB功能，从而导致成本高昂的问题。