Manufacturing Technology Team, Technology Engineering Center, Samsung Electronics Co., Ltd., San #16, Banwol-Ri, Taean-Eup, Hwasung-City, Gyeonggi-Do, Korea;
BARC; ArF; SEM shrinkage; SEM slimming;
机译:基于AFM的BARC抗ArF图案剥离分析。
机译:取决于BARC材料的ArF抗蚀剂图案的附着力改善
机译:临界尺寸扫描电子显微镜测量中ArF抗蚀剂图案收缩的机理
机译:避免100nm ArF光刻中ArF抗蚀剂图案收缩的CD计量学
机译:研究p53-mdm2-ARF信号回路:p53抑癌蛋白抑制ARF,ARF的癌基因激活以及活细胞中p53活性的检测
机译:根据BARC和VARC-2定义经导管主动脉瓣置换术后院内出血的预测因素和预后影响
机译:用AFM剥离ARF抗蚀剂图案的抗蚀剂图案
机译:用于arF光刻的酸催化单层抗蚀剂