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机译:ArF激光光致抗蚀剂的研究进展
余尚先; 杨凌露; 张改莲;
北京师范大学 化学系 北京 100875;
ArF激光; 光致抗蚀剂; 化学增幅; 矩阵树脂; 光产酸源;
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