机译:193nm顶表面成像工艺的非化学放大抗蚀剂和化学放大抗蚀剂的光刻性能
机译:光酸产生剂掺入聚合物主链中对193 nm化学放大的抗蚀剂行为和光刻性能的影响
机译:用于电子束母版的耐酸树脂基化学放大正性抗蚀剂:设计和光刻性能
机译:酸尺寸对光刻性能的化学放大负抗蚀剂的影响
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:芳基环氧热固性树脂的光刻性能作为微光学的阴性光致抗蚀剂
机译:193nm顶表面成像过程的非化学放大抗蚀剂和化学放大抗蚀剂的光刻性能。