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谢文; 刘建国; 李平;
华中科技大学,化学与化工学院,湖北,武汉430074;
紫外正型光刻胶; 光刻;
机译:一种用于深紫外光刻的新型水可显影光刻胶
机译:极紫外光刻化学放大光刻胶工艺制备亚10纳米半节距的可行性研究:Ⅱ。随机效应
机译:丝网印刷版的紫外线可固化正型光刻胶
机译:石英晶体微量天平研究低分子量光刻胶组分对极端紫外光刻中化学放大光刻胶溶解行为的影响
机译:研究非晶态三硫化二砷中的银光掺杂机理,以及碲化银-三硫化二砷体系作为无机光刻胶的亚微米光学和深紫外光刻技术的潜力
机译:超越EUV光刻技术:有效光刻胶性能的比较研究
机译:基于EPON树脂165和154的复合材料的新型UV光刻胶用于高纵横比的制备。
机译:远(深)紫外高强度激光(准分子)辐射脉冲在聚合物中的孔形成(蚀刻)及其与聚合物深紫外光解中光刻胶的相关性
机译:用于正型光刻胶的酚醛清漆树脂和正型光刻胶的零组分树脂
机译:正型光刻胶组合物和由其制备的正型光刻胶膜
机译:耐热正型光刻胶,制品,高温保护膜对辐照和正型光刻胶的制备稳定
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