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基于缩醛聚合物的化学增幅型紫外光刻胶

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文中利用双酚A和二乙烯基醚化合物进行反应得到一类新型缩醛聚合物.这些有机化合物可溶于常用的溶剂,具有很好的热稳定性.具有很好的储存稳定性.含有缩醛结构的化合物具有高的酸解活性且在365 nm左右具有很好的光透明性,它们可以与成膜树脂和光产酸剂等组成i-线化学增幅型光致抗蚀剂体系,初步测定了它们的成像性质.

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来源
《中国感光学会第九次会员代表大会暨2014年学术年会》|2014年|133-136|共4页
会议地点北京
作者
HU Fan-hua; 胡凡华; WANG Li-yuan; 王力元;
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作者单位

中国感光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ577.35;
关键词
光刻胶; 化学增幅; 二乙烯基醚; 缩醛聚合物; 酸解活性; 成像性能;
入库时间 2022-08-17 10:36:13

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