National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-2-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan;
机译:PZT膜片对折叠式压电单向致动器驱动的微扫描仪的设计和优化
机译:由PZT驱动器驱动的光学微扫描仪的制造
机译:压电致动器驱动的可调光学微扫描仪
机译:压电致动器驱动的1D光学微扫描仪的研制
机译:用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译:集成了压电执行器和压敏电阻的二维微型扫描仪
机译:集成了压电执行器和压敏电阻的二维微型扫描仪