一种大力矩大位移微纳压电致动器的瞬态响应

摘要

基于三角放大原理,利用压电叠堆设计并制造了一种具有高精度大力矩、大位移的致动器,并对其动静态特性进行测试分析.文中还采用Ansys、Matlab软件以及动态投影栅线法,从理论和实测两个方面对该致动器在加载电压和撤除电压时的瞬态响应特性进行了分析和测试,理论分析和实测结果吻合度较高.该压电致动器在通入激励电压时,响应速度快,电压-位移的线性度好;在撤除激励电压时,响应特性过程平稳.为该致动器广泛运用于微纳控制系统中,成为微纳系统中可靠、快速的大位移大力矩驱动部件的应用前景提供了依据.