微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

摘要

本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法,以非接触测量代替接触测量,改间接测量为直接测量,最大限度地减少中间环节及测量影响因素,测量精度可提高一个数量级,测量范围可提高到10-4～10-7Nm.同时,设计了非接触、高灵敏度微致动器力矩动态测量仪,并对其中的两项关键技术-非接触微力制动和微力自动加载进行了论述,并给出了该仪器的实际测量结果.