压电陶瓷微致动器的制作及驱动行为研究

摘要

制作一种新型压电陶瓷微致动器,用于高密度硬盘驱动器磁头的精确定位.该致动器采用高d31特性的压电陶瓷材料,采用烧结成型工艺,并使用溅射和反应离子刻蚀工艺制作而成,然后进行了退极化性能等分析.此外,建立了一种有限元简化模型并分析其驱动能力.结果显示,当采用双层结构的压电微致动器时,在外加电压±30 V作用下,悬臂自由端位移和谐振频率分别达到0.93μm和20.425 kHz,表明该致动器满足硬盘驱动器对微致动器位移/电压灵敏度、谐振频率等要求.