NEC Electron. Corp., Sagamihara, Japan;
CVD coatings; argon compounds; free energy; immersion lithography; silicon compounds; surface energy; ArF; CVD thin films; CVD wafer; SiCN; defect reduction; immersion water; interfacial free energy; particle trap wafers; trapping particle potential;
机译:使用具有CVD薄膜的颗粒阱晶片减少ArF浸没式光刻中的缺陷
机译:使用高速晶圆旋转垂直CVD工具生长的n型4H-SiC外延膜表面和PL缺陷的减少
机译:在金刚石薄膜的等离子CVD合成中通过铋浸入形成铋核碳壳纳米粒子
机译:使用具有CVD薄膜的颗粒捕获晶片,减少ARF浸入光刻的缺陷
机译:薄膜硅光伏电池:薄膜沉积的表征和来自散射纳米粒子阵列的增强光阱分析。
机译:晶体硅薄膜太阳能电池中用于高级光阱的倒置纳米金字塔阵列的晶圆级集成。
机译:用特殊路由进行缺陷浸入光刻