首页> 外文OA文献 >Defect reduction with special routing for immersion lithography

【2h】

Defect reduction with special routing for immersion lithography

机译：用特殊路由进行缺陷浸入光刻

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Fu-Jye Liang;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2007
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Defect reduction with special routing for immersion lithography [J] . Fu-Jye Liang, Lin-Hung Shiu, Chun-Kuang Chen, Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. (JM3) . 2007,第1期

机译：通过浸没式光刻的特殊工艺减少缺陷
2. Defect Reduction in ArF Immersion Lithography Using Particle Trap Wafers With CVD Thin Films [J] . Matsui Y., Onoda N., Nagahara S., Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on . 2009,第4期

机译：使用具有CVD薄膜的颗粒阱晶片减少ArF浸没式光刻中的缺陷
3. Effect of process related and haze defects on 193 nm immersion lithography [J] . Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures . 2010,第1期

机译：工艺相关和雾度缺陷对193 nm浸没式光刻的影响
4. Improvement of Watermark Defect in Immersion Lithography: Mechanism of Watermark Defect Formation and its Reduction by Using Alkaline Soluble Immersion Topcoat [C] . Hiroki Nakagawa, Atsushi Nakamura, Hiroshi Dougauchi, Advances in Resist Technology and Processing XXIII pt.1 . 2006

机译：浸没式光刻中水印缺陷的改善：使用碱性可溶浸没面漆的水印缺陷形成机理及其减少
5. The refractive index and absorbance of aqueous and organic fluids for immersion lithography. [D] . Costner, Elizabeth A. 2009

机译：用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
6. Asymmetric Catalysis Special Feature Part II: Copper-catalyzed asymmetric conjugate reduction as a route to novel β-azaheterocyclic acid derivatives [O] . Matthew P. Rainka, Yimon Aye, Stephen L. Buchwald 2004

机译：不对称催化特征第二部分：铜催化不对称共轭还原反应作为新型β-氮杂杂环酸衍生物的途径
7. A Performance-Driven MCM Router with Special Consideration of Crosstalk Reduction [O] . Dongsheng Wang, Ernest S. Kuh 2007

机译：兼顾降低串扰的性能驱动型MCM路由器

代理获取

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号