IMEC, Leuven, Belgium;
机译:有机低k电介质中铜和抗蚀剂过孔的聚焦离子束切割和剥离方法
机译:纳米多孔低k电介质薄膜的成像:超薄切片术和聚焦离子束制备物在透射电子显微镜下的比较
机译:使用单能正电子束研究自组装单层表面密封及其对多孔低k电介质中金属扩散的影响
机译:有机低k电介质的聚焦离子束分析
机译:用于高级互连的多孔低k电介质的机械可靠性:多孔低k电介质的不稳定性机理及其通过惰性等离子体引发的骨架结构再聚合的介导研究。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:通过杆EEL元素映射在超低k介电材料中表征碳耗尽期间的电子束损坏
机译:用高强度慢正电子束二维角相关实验研究低k介质薄膜中的正电子