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Novel packaging and thermal measurement for 3D heterogeneous stacks

机译:3D异质堆叠的新颖封装和热测量

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摘要

Presents a collection of slides covering the following topics: packaging; thermal measurement: 3D heterogeneous stacks; heterogeneous integration; chip analysis; NCSU thermal test vehicle; EFFP thermal property extraction; bonding; calibration; HEMT; CMOS and air bridge metal measurement.
机译:展示了涉及以下主题的幻灯片集合:包装;热测量:3D异构堆栈;异构集成芯片分析; NCSU热力测试车; EFFP热性能提取;粘接校准; HEMT; CMOS和气桥金属测量。

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