晶体硅电池的氮氧化硅（SiOxNy）薄膜特性研究

摘要

氮氧化硅(SiOxNy)作为减反射膜,可以兼备氮化硅(SiNx)的减反效果和二氧化硅(SiO2)的钝化效果.本文在工业型DIRECT-PECVD 上,通过优化各项工艺参数,使得氮氧化硅薄膜减反、钝化效果达到最优.通过红外傅里叶分仪分析：发现随着氧含量减小,钝化效果先增大后减小,当折射率达到1.85时,沉积薄膜前后少子寿命增益最大.通过与常规的单、双层氮化硅薄膜对比,发现：氮氧化硅具有最优的短波响应.同时,氮氧化硅的电池转换效率较双层氮化硅电池提升0.19%.