真空微电子压力传感器的研制

摘要

本文主要经过研制真空微电子压力传感器进行了基础理论和场致发射理论研究;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了单栅极和双栅极的研制;进行了封装测试等工作;研制了硅尖阵列阴极-敏感薄膜复合型压力传感器和智能机械人硅尖阵列阴极-敏感薄膜复合型压力/触觉传感器;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列阴极-敏感薄膜复合型压力传感器和智能机械人硅尖阵列阴极-敏感薄膜复合型压力/触觉传感器,进行了实物(真空微电子硅尖阵列阴极-敏感薄膜复合型压力传感器)的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.