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张兆华; 刘理天; 温明生;
中国电子学会;
加速度传感器; 加速度计; 版图设计; 制作工艺;
机译:三轴压阻式加速度计的仿真,制作和表征
机译:具有SPB的新型压阻式加速度计,以改善灵敏度与谐振频率之间的权衡
机译:具有新型垂直梁结构的压阻式加速度计
机译:束膜结合结构的MEMS压阻式加速度计的设计与制作
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:新型高精度结构SOI压阻式压力传感器的设计优化与制作
机译:具有纳米压阻的新型三轴微型耳塞压阻加速度计的设计与优化
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试
机译:用相同的桥式压电电阻带压阻式加速度计传感器的桥式结构和制造方法的制造方法
机译:压阻式加速度计和系统,包括相同的
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