Accelerometer; Beam-film combined structure; Piezoresistive; MEMS;
机译:高性能SOI MEMS压阻式加速度计的设计,制造和表征
机译:MEMS压阻高g加速度计的设计,制造和实验
机译:基于SOI技术的MEMS差分电容加速度计结构的设计与制造
机译:具有梁膜组合结构的MEMS压阻式加速度计的设计与制造
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:用于头部损伤监测的MEMS系压阻式加速度计的设计与优化:计算分析
机译:设计'发烧友',一种制造和分析结合离子和电子调节的纳米结构的仪器(Ontwerp van'fancier',een Instrument voor Fabrikage en analyze van Nonostructuren door Gecombineerde Ionen en Elektronen sturi