弧热氮原子束辅助脉冲激光溅射合成ZnSe:N薄膜

摘要

研究人员用弧热氮原子束辅助脉冲激光溅射方法沉积ＺｎＳｅ掺氮薄膜。溅射靶采用多晶ＺｎＳｅ片，衬底采用抛光ＧａＡｓ（１００）和Ｓｉ（１１１）片。一台弧热束源被用来分解氮气，含大量中性氮原子的出射束（１０〈’１８〉￣１０〈’１９〉原子／弧度·秒）在沉积过程中同溅射出的等离子体和薄膜生长面相互作用合成Ｎ掺杂ＺｎＳｅ薄膜。Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）表明薄膜由ＺｎＳｅ单晶或多晶构成。Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）表明薄膜主要由Ｚｎ、Ｓｅ和Ｎ组成。