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俞丹; 卢意飞; 戴祝萍; 孙剑; 吴嘉达;
复旦大学光科学与工程系先进光子学材料与器件国家重点实验室;
硼碳氮薄膜; 脉冲激光沉积; 离子束辅助沉积; Kauffman离子源;
机译:脉冲激光沉积和氮离子束辅助脉冲激光沉积产生的B-C-N体系薄膜的纳米结构研究
机译:B_4C靶的氮离子束辅助脉冲激光沉积合成BCN薄膜。
机译:电子回旋共振等离子体辅助脉冲激光沉积氮化硼碳薄膜
机译:离子束辅助准分子烧蚀B4C靶材沉积硼碳氮三元薄膜
机译:通过反应和离子束辅助,电子束物理气相沉积(EB-PVD)合成和表征碳化钛,碳氮化钛硼,硼化钛/碳化钛和碳化钛/碳化铬多层涂层。
机译:直接耦合热退火的脉冲激光沉积一步法制氮掺杂石墨烯薄膜的电分析性能
机译:离子束辅助沉积碳氮薄膜的结构与性能
机译:高强度脉冲离子束沉积制备类金刚石碳和氮化硼薄膜
机译:粘结立方氮化硼层的生产,特别是用于铁合金加工工具或光学组件的立方氮化硼层的生产,包括首先通过脉冲激光沉积来沉积促进粘合力的氮化硼层
机译:通过脉冲等离子体辅助沉积沉积不含硅的含碳薄膜作为间隙填充层的方法
机译:通过矩阵辅助脉冲激光沉积生产薄膜的方法
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