微硅加速度计的传感器梯度和支承刚度的测量研究

摘要

该文从理论上推导出力平衡式微硅加速计在闭环工作情况下，测量加速度计的传感器梯度（刻度因数）和挠性支承刚度的公式，并且在FACRI研制的小型单晶硅加速计上进行验证，证明其结果是令人满意的。这种方法可作为力平衡式微硅加速计的质量控制的一个环节，根据所测出的加速度计的挠性支承的相对刚度可判断加速度计挠性支承的质量好坏，从而提高了产品的可靠性。