微差压传感器膜片成型技术的研究

摘要

微差压传感器采用EI型膜片结构，其膜片成型技术包括两方面的内容，正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM，该文通过对这一技术的叙述，介绍了微差压传感器膜片型成型中的关键工艺和结果，实践证明，方法简便易行，工艺重复性、一致性好，在生产中收到实效。