一种基于快速成型技术的微纳传感器制造方法及装置

摘要

本发明涉及一种基于快速成型技术的微纳传感器制造方法及装置。所述的制造方法是将设计好的微纳传感器三维模型表面进行面型化处理和分层处理后，得到各层截面的二维轮廓信息；按照轮廓信息自动生成加工路径，在控制系统的控制下，有选择性地喷涂各种成型材料和支撑材料，形成各个截面的轮廓薄片，并顺序累加成微纳传感器的三维实体，再经后处理后制造出微纳传感器。所述的制造装置由工作台、装有喷头的喷头支架、喷头运动控制单元、材料输送及喷嘴选择控制单元、快速降温装置等组成。与现有技术相比，本发明由于采用快速成型技术来生产制造微纳传感器，有效地提高了传感器的精度，缩短了生产周期，降低了制造成本。