法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1995-02-01
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-06-17
授权
授权
1991-11-06
公开
公开
机译: 压力传感器,尤其是微机械差压传感器,具有测量膜片和膜片载体,测量膜片沿其边缘以压力密封的方式连接在一起。
机译: 同时将张力施加到中心膜片上的用于控制差动压力传感器的中心膜片张力的装置以及使用相同的方法来制造差压传感器的方法
机译: 用于差压测量的微机械压力传感器元件具有连接在一起的膜片,从而在一个膜片基于另一个膜片的连接点处发生压力引起的偏转