提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)

摘要

表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求.波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降,从而部分抵消了应力消除的效果.提出一种新型深盆腔膜片结构,在消除应力的同时实现了比平膜片还高的力学灵敏度,可以提高微压传感器和微麦克风的灵敏度.采用解析和有限元两种方法相结合的方法,对该种膜片进行了分析和研究.对比平膜和波纹膜结构,显示了深盆腔膜在力学灵敏度方面的显著提高.