首页> 中文期刊> 《仪表技术与传感器》 >提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(二)

提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(二)

AI论文写作 >>

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

@@ 3有限元分析与模拟rnANSYS-5.7被用来进行有限元分析.首先根据硅微机械技术的特点对3种膜片进行建模.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |2002年第12期|1-2|共2页
作者
郑丹; 宋朝辉; 张鲲;
展开▼
作者单位

中国科学院上海冶金研究所,上海,200050;

上海应用技术学院,上海,200050;

中国科学院上海冶金研究所,上海,200050;

中国科学院上海冶金研究所,上海,200050;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微压传感器; 灵敏度; 深盆腔压力膜片; 有限元;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一) [J] . 郑丹 ,宋朝辉 ,张鲲 . 仪表技术与传感器 . 2002,第011期
2. 提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究 [J] . 张慧君 ,张立喆 ,段玉培 . 计测技术 . 2014,第003期
3. 微弯光纤压力传感器应变膜片研究 [J] . 乐孜纯 . 光学精密工程 . 1994,第003期
4. 硅微压阻式压力传感器的测试与研究 [J] . 余剑锋 ,谭晓兰 . 山西电子技术 . 2013,第002期
5. 一种硅微压阻式压力传感器的研究 [J] . 刘珍妮 ,谭晓兰 ,杨峻松 . 机械设计与制造 . 2012,第001期
6. 一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器 [C] . 黄树森 ,李昕欣 ,戈肖鸿 . 第八届敏感元件与传感器学术会议 . 2003
7. 高灵敏度压阻式碳化硅压力传感器设计与仿真 [A] . 廖黎明 . 2016

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号