ＤＢ７亚微米电子束曝光机的电定位系统

摘要

电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接；它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正，从而保证了在长时间曝光中图形的套刻精度。介绍了ＤＢ７业微米电子束曝光机上的电定位系统及其对主机的贡献。