蒙特卡罗器件模拟中的固定时间步长计算飞行时间的MC算法

摘要

半导体器件的蒙特卡罗模拟是深入研究深亚微米尺度器件的物理过程所必不可少的工具。研究人员发展了一套以Ｃｌｉｅｎｔ／ｓｅｒｖｅｒ结构为基础的通用器件模拟软件。在传统的能量分区计算飞行时间的飞行算法及现有的以时间分区的飞行算法的特点的基础上，提出固定时间步长的飞行算法。该虎法具有快速和节省内存的特点。以此算法对Ｓｉ材料的稳态输运特性进行了模拟，得到的飞行时间和漂移速度曲线，与其它算法进行了比较，结果吻合。