纳米硅薄膜场发射压力传感器研究

摘要

设计研制了一种基于量子隧道效应机制的体硅MEMS微封闭式场发射压在原型器件，并有效的把低维半导体纳米硅技术引入微电子和硅微机械加工技术相结合的微机电系统，实现了三者的统一。对具体器件进行了计算模拟。通过ANSYS程序用有限元方法分析了器件的力学特性。