纳米硅薄膜场发射压力传感器的研究

摘要

场发射压力传感器是高真空技术与微电子技术相结合的一种耐高低温、抗辐射的小型高灵敏度新型器件,具有重要的研究价值.本文从具有相当难度的提高阴极发射电流密度和简化工艺两方面着手,设计了一种新型纳米硅薄膜场发射压力传感器,讨论了提高灵敏度的途径,结构设计思想,工艺参数,以及工艺可实施的一套具体流程方案,为传感器件的最终实现提供了可操作的保证.