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微波功率芯片的亚微米工艺

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报道一种掺砷多晶硅发射极超自对准亚微米工艺技术,特别适用于研制大面积的硅微波大功率晶体管.文中简述器件结构和工艺,同时给出器件研制的结果.

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来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|200-202|共3页
会议地点昆明
作者
王因生; 张树丹; 王佃利; 傅义珠; 盛国兴; 桂德成; 丁晓明; 王志楠;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
硅微波大功率晶体管; 微波功率芯片; 亚微米工艺; 工艺流程;

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