公开/公告号CN2503608Y
专利类型
公开/公告日2002-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 信息产业部电子第五十五研究所;
申请/专利号CN01262961.8
申请日2001-09-26
分类号H01L29/72;
代理机构南京经纬专利代理有限责任公司;
代理人沈廉
地址 210016 江苏省南京市中山东路524号
入库时间 2022-08-21 22:43:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-11-23
专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L29/72 授权公告日:20020731 期满终止日期:20110926 申请日:20010926
专利权的终止
2002-07-31
授权
授权
机译: 硅团簇超晶格和硅团簇超晶格的生产方法,硅团簇的生产方法,硅团簇超晶格结构和硅团簇超晶格结构的生产方法,半导体器件和量子器件
机译: 硅团簇超晶格,硅团簇超晶格的制备方法,硅团簇的制备方法,硅团簇超晶格结构,硅团簇超晶格结构的制备方法,半导体器件和量子器件
机译: 亚微米晶体管的扩展多晶硅自对准门重叠轻掺杂漏极结构