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一种新结构微机械陀螺的优化设计

摘要

为了使陀螺获得较高的灵敏度和一定的带宽,就要使驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配.文章首先用有限元法研究了一种新结构振子框架式微机械陀螺的模态频率随其主要结构尺寸的变化规律,然后根据陀螺模态频率的匹配,优化了陀螺的结构尺寸,并为结构改进和制备工艺提供了理论指导.

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