基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化设计

摘要

提出了基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化模型,开发了相应的稳健设计流程。以往的研究是将设计变量中的不确定量考虑为统计容差,与之不同的是,该设计采用最坏情况容差分析,优化算法使用遗传算法,采用键合-离子反应深刻蚀加工器件。灵敏度分析结果表明稳健设计结果对误差是不敏感的。同时进行了蒙特卡洛分析,结果表明有88.35%的样本是可接受的。