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实用化电子束曝光机的真空系统

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本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.

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来源
《第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会》|2003年|118-120|共3页
会议地点北京
作者
薛虹; 顾文琪; 刘俊标; 初明璋; 唐晖; 徐彧;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束曝光; 自动控制; 真空系统;

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