可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的实用化研制

摘要

该论文介绍了文中所实现的微机版可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的相关系统设计、流程设计、算法设计等.该软件将通用图形数据格式CIF转换成JBX-6AII曝光机专用格式JEOL51.经试验验证,初步达到实用化水准.该软件分为两层,核心层和交互层.其中核心层封装了所有相关算法,采用纯C/C++实现,具有良好的可移植性.交互层基于MFC实现.核心层中转换过程划分为源文件解析模块、转换模块和目标文件输出模块,其中转换模块又按照流程分为窗口裁剪、二维变换、尺寸修正、主场分割、子场分割、轮廓化、黑白翻转、自分割、束斑分割、校验等环节.论文着重介绍了这些环节的算法实现.该文采用递归下降法解析CIF语法,并总结出一套较为通用的版图描述语言解析规则,该规则可以推广到对其它形式语言的解析过程中去.该文提出了新的处理有向环运算过程中重复交点的策略,该策略能够全面适应文中有向多边形的集合运算.该文提出“线切割”的概念,并且成功以此为基础设计了系列相关算法.该概念在该文中占有很重要的地位.

目录

文摘

英文文摘

第一章引言

§1.1电子束曝光技术

§1.2JBX-6AII可变矩形电子束曝光机

§1.3版图数据转换系统及其国内外研究现状

§1.4本课题的研究意义

第二章系统需求和设计

§2.1系统需求

§2.2系统结构设计

§2.3系统模块设计

§2.4系统流程设计

§2.5系统类设计

§2.6中间多边形临时文件的存储格式

§2.7主场临时文件的存储格式

第三章算法设计1

§3.1CIF文件的解析

§3.1.1CIF语法

§3.1.2CIF语义

§3.1.3运用递归下降法解析CIF语法

§3.1.4CIF文件中圆和线条的处理

§3.2JEOL51文件的生成

§3.2.1JEOL51格式介绍

§3.2.2JEOL51格式输出

§3.3二维坐标变换

第四章算法设计2

§4.1基于矢量边的二维多边形集合运算

§4.1.1基本概念

§4.1.2有向环的基本运算规则

§4.1.3重合交点的处理

§4.1.4点与有向环间的位置关系

§4.1.5点与有向多边形间的位置关系

§4.1.6有向多边形的并运算

§4.1.7有向多边形的线切割

§4.2转换功能模块算法

§4.2.1窗口裁剪

§4.2.2尺寸修正

§4.2.3场切割

§4.2.4轮廓化

§4.2.5黑白翻转

§4.2.6自分割

§4.2.7束斑分割

§4.2.8校验

§4.3图形压缩

第五章结论

§5.1课题的特点

§5.2课题的进展和突破

§5.2.1进展

§5.2.2突破

§5.3课题的深入研究

附1系统界面图示

附2验证结果图示

参考文献

文章发表

致谢