提高SOI器件和电路性能的研究

摘要

本文SOI器件和电路性能进行了研究。文章认为，SOI技术是在体硅CMOS技术的基础上发展起来的,和体硅相比SOI有较多的优势，但同时也有它的劣势,这种劣势实际上是由其特殊的器件结构决定的。文章对SOI器件的性能进行了分析，提出了提高SOI器件和电路性能的几项重要措施。