接触式台阶仪探针性能检查图形样块的研制与应用

摘要

针对接触式台阶仪使用过程中存在的探针沾污、探针缺陷及扫描位置不准的问题,设计了探针沾污和缺陷及探针扫描位置检查图形,并且采用半导体工艺技术进行制备.两种图形可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查及偏移量为-150～150μm范围内探针扫描位置的检查,通过在一台P-6型台阶仪上进行使用,发现了该台阶仪探针存在的缺陷和扫描位置不准的问题,更换探针并调校台阶仪扫描位置后,解决了上述问题。