微压力接触式台阶仪的结构设计与实验研究

摘要

介绍了一种基于光电检测原理的高精度接触式二维轮廓检测仪.该仪器将CCD成像检测技术与接触式检测技术有机的结合起来,通过狭缝成像方式代替进口容栅和磁栅,实现对工件的高精度尺寸检测,具有接触压力小,成本低等优点.实验测得,仪器最小分辨率为1μm,多次测量重复精度为±5μm.