Измерение высоты ступени в нанометровам диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра

摘要

Предложена оптическая схема микроинтерферометра для измерения высоты микроступени с нанометровым разрешением и оценены составляющие погрешности. Подробно описана компьютерная программа и алгоритм обработки интерференционной картины, регистрируемой ПЗС-камерой.