基于白光干涉仪台阶高度测量的不确定度分析

摘要

介绍了一种基于白光干涉仪测量台阶高度的方法.首先,介绍了白光干涉的原理;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,依据该方法,使用白光干涉仪对VLSI的型号为SHS-9400QC的样块进行测量;最后,对影响测量结果的分量进行分析,给出了不确定度评定方法.