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提升探针式台阶仪计量性能的研究与应用

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摘要

以传统机械扫描式台阶仪的测量原理及结构特点为基础,分析此类台阶仪影响计量性能的主要原因,提出提升台阶仪计量性能的有效方法,通过实际应用和比对测试,验证该方法的正确性和实用性.

著录项

来源
《计量技术》 |2007年第3期|39-41|共3页
作者
朱小平; 王蔚晨; 杜华; 高思田;
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作者单位

中国计量科学研究院,北京,100013;

中国计量科学研究院,北京,100013;

中国计量科学研究院,北京,100013;

中国计量科学研究院,北京,100013;

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正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
轮廓曲线; 台阶仪; 台阶高度;

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