p型微晶硅的研究及其在柔性衬底太阳电池中的应用

摘要

本文以B(CH3)3(TMB)为掺杂剂，采用正交实验法，以硅烷浓度、TMB掺杂比、反应压强及气体总流量等主要沉积参数为实验组变量对p型微晶硅薄膜进行初步优化。在玻璃衬底上沉积厚度为80 mm左右的p型微晶硅(μc-Si：H)薄膜，通过测试材料暗态电导率、XRD、Raman等，研究了上述沉积参数对材料电学和微结构性能的影响，并在此基础上作进一步的参数优化，得到更高电导的微晶硅薄膜;将其应用于PEN为衬底的非晶硅薄膜太阳电池中，得到6％的初始效率。