机译:图案化金属膜层,薄膜晶体管和显示基板的制造方法
公开/公告号US11037801B2
专利类型
公开/公告日2021-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 BOE TECHNOLOGY GROUP CO. LTD.;
申请/专利号US201916657062
申请日2019-10-18
分类号H01L21/32;H01L21/02;H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/285;
国家 US
入库时间 2024-06-14 21:39:57