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METHOD OF LAYER-TO-LAYER X-RAY DIFFRACTION ANALYSIS OF SURFACE LAYERS OF POLYCRYSTALS

机译:多晶硅表面层间X射线衍射分析的方法

摘要

.the invention относитс  to рентге - ноструктурному analysis of thin surface layers поликристаллов and позвол ет to obtain quantitative information on the состо нии on верхностного сло  polycrystallin
机译:本发明涉及多晶薄表面层的X射线结构分析,并允许获得有关多晶表面层状态的定量信息。

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